2006年10月　会社設立
2007年04月　つくば産業総合技術研究所と共同研究開始
2007年07月　第18回マイクロマシン展出展（その後12年間継続出展中）
2007年11月　群馬薄膜技術研究所設立
2008年03月　神奈川県産業技術センターＲ＆Ｄ展出展
2009年01年　山梨大学へ技術支援してサンプル作成

2009年09月　神奈川県大学発・企業発ベンチャー事業化プロジェクト支援助成に採択
2010年04月　横浜国立大学と共同研究開始（継続中）
2011年02月　ナノテク展に出展
2011年10月　神奈川県産業技術センター製品開発室に入居
2013年07月　第1回ナノマイクロビジネス展に出展

2013年10月　ものづくり中小企業・小規模事業者試作開発等支援補助金に採択
2014年01月　インターネプコン展に出展

2014年04月   第2回ナノマイクロビジネス展に出展

2015年01月   インターネプコン展に出展

2015年01月　慶應大学藤沢イノベーションビレッジ（SFC-IV）へ入居し慶應藤沢研究所を設置

2015年04月　第3回ナノマイクロビジネス展に出展

2015年12月　セミコン・ジャパン2015に出展

2016年09月　MEMSセンシング＆ネットワークシステム展2016（パシフィコ横浜）に出展

2016年11月　第57回電池討論会併設展示会（幕張メッセ）に出展

2016年12月　セミコン・ジャパン2016（東京ビッグサイト）に出展

2017年10月　MEMSセンシング＆ネットワークシステム展2017（幕張メッセ）に出展

2017年12月　セミコン・ジャパン2017（東京ビッグサイト）に出展

2018年10月　MEMSセンシング＆ネットワークシステム展2018（幕張メッセ）に出展

2018年11月　第59回電池討論会並設展示会（大阪国際会議場）に出展

2019年11月　第60回電池討論会並設展示会（京都国際会館）に出展

2019年10月　神奈川県燃料電池研究会に入会

2019年11月　第61回電池討論会並設オンライン展示会に出展

2019年12月　第29回ファインテック ジャパン（幕張メッセ）に出展

2020年01月　MEMSセンシング＆ネットワークシステム展2020（東京ビッグサイト）に出展

2020年12月　MEMSセンシング＆ネットワークシステム展2021（東京ビッグサイト）に出展

2021年11月　第62回電池討論会（パシフィコ横浜）に出展

2021年12月　SEMICON Japan 2021（東京ビッグサイト）に出展

2022年03月　第69回応用物理学会春期学術講演会併設展示会（青山学院大学相模原）に出展

2023年02月　MEMSセンシング＆ネットワークシステム展2023（東京ビッグサイト）に出展

2023年07月　研究所をSFC-IVから、S.F.I.-LABOへ移転（いずれも藤沢市内）

 

・つくば産業技術総合研究所との技術協力
　  MEMSの薄膜コーティング技術で電子デバイス開発

   （スプレーコーターによる3次元MEMS製造プロセス開発）
・横浜国大と共同研究・技術連携
　  特殊化学装置の基礎研究と開発
・神奈川県立産業技術総合研究所と技術連携

　　燃料電池関係で技術協力

・山梨大学、信州大学、他、国公私大学・国立研究所と技術提携＆技術協力
　  燃料電池・水素発生装置・ウエラブル端末センサー・Iot関連・薄膜粒子膜形成などの技術協力