製品:スプレーコーター(スプレーコータ) 小型実験用装置からカスタマイズした大型生産装置まで各種ご提案できます。
用途:
○フォトレジストコーティング(凹凸デバイス)
○撥水膜コーティング
○燃料電池触媒膜(MEA)コーティング
○全固体電池膜コーティング
○太陽電池膜コーティング
○導電性材料コーティング
○アルコキシド(ガラス膜)膜コーティング
○絶縁材料コーティング
○潤滑膜コーティング
○摩擦低減コーティング
○空気抵抗最小限膜コーティング
○超耐熱膜コーティング
○親水膜コーティング
○PEDOT膜コーティング
○LED膜コーティング
○蛍光体コーティング
○CNT分散剤(ナノカーボンインク)コーティング
特徴:
・エアレスコーター
・特殊ノズルで、微細粒子化
・常温常圧環境下で塗布可能
・レジスト高利用効率
・スピンコートの欠点もカバー、3D形状にも対応
・ディスパージョン塗布
・ナノ粒子、マイクロ粒子も、液中分散化でスプレー塗布
・高比重の微粒子液も沈降を極力少なくして塗布
・特殊スプレー技術でノズル詰まり無く塗布
・試作された稀少液などの高効率活用塗布
・薄膜から厚膜まで幅広い膜厚に対する塗布
・SU8
・簡易スプレー塗布
・微粒子
・燃料電池塗布